微波等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免靜電損傷。簡(jiǎn)述了微波等離子清洗機(jī)的原理及特點(diǎn)，介紹了設(shè)備的構(gòu)成、清洗工藝和模式，對(duì)微波導(dǎo)入和微波源與負(fù)載的匹配兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究；通過(guò)工藝驗(yàn)證，微波等離子清洗降低了接觸角度，提高了引線鍵合強(qiáng)度。
等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)（被稱為物質(zhì)的第四態(tài)），是由原子，電子，分子，離子或自由基組合而成，等離子清洗就是通過(guò)物理、化學(xué)作用對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)去除分子水平污染物的一種工藝過(guò)程，同時(shí)也可提高其表面活性。
微波等離子發(fā)生原理：
微波等離子清洗機(jī)是由工作頻率為2.45GHz的微波激發(fā)工藝氣體放電，在正負(fù)極磁場(chǎng)作用下的諧振腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體，該諧振腔體位于反應(yīng)倉(cāng)體旁邊，磁控管連接微波發(fā)生器，因?yàn)檎麄€(gè)放電過(guò)程不需要正負(fù)電極，所以產(chǎn)生自偏壓極小，從根本上避免了靜電放電損傷。
清洗特點(diǎn)：
微波等離子清洗機(jī)與傳統(tǒng)濕法清洗相比，不需要使用大量的酸、堿、有機(jī)溶劑等，不會(huì)給環(huán)境帶來(lái)任何污染，有利于環(huán)保和人員安全，同時(shí)該清洗技術(shù)的均勻性、重復(fù)性和可控性非常好，具有三維處理能力，可以進(jìn)行方向選擇。微波等離子清洗機(jī)與低頻或射頻放電產(chǎn)生的等離子體相比，它的特點(diǎn)是沒(méi)有正負(fù)電極，自偏壓很小，不會(huì)產(chǎn)生放電污染，有效防止靜電損傷；等離子密度高，生產(chǎn)效率高；離子運(yùn)動(dòng)沖擊小，不會(huì)產(chǎn)生UV（紫外線）輻射，尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。
