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在半導體芯片制造、柔性顯示屏開發(fā)及航空航天熱障涂層等高精尖領域，薄膜材料的應力控制直接決定產(chǎn)品性能與壽命。德國ilis公司研發(fā)的StrainMaticM4薄膜應力測試儀，憑借成像式光彈原理與納米級精度，成為全球科研機構與工業(yè)企業(yè)的核心檢測設...
HerzTS主動隔振臺介紹：在21世紀納米技術(即先進的半導體代表相關的信息技術，基因療法等生命科學相關技術，原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn))，振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中，為了獲得可靠的結果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。HerzTS主動隔振臺特點：1、在全部的6個自由度范圍...
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