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慧眼如炬:國產(chǎn)晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)如何守住芯片制造的“第一道防線”?
2026-03-19

在一片直徑僅數(shù)厘米的晶圓上,往往密布著成百上千顆決定電子設(shè)備“大腦”性能的芯片。然而,從熔化的多晶硅到最終切割成型的晶圓薄片,其表面任何一處微米級的崩邊、一道細微的劃痕,或是一個肉眼難辨的顆粒污染,都足以讓這顆未來的“大腦”在復(fù)雜的運算中瞬...

  • 2022-11-24

    FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學(xué)膜厚儀模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺,集成了先進的光學(xué)、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。該機型光學(xué)模塊功能強大,可測量的光...

  • 2022-11-24

    掩模對準光刻機是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法??梢酝ㄟ^以下兩種基本方法之一實現(xiàn)圖案化:直接寫入圖案,或通過掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征(例如蝕刻),或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機輔助設(shè)計(CAD)定義圖案模式。多數(shù)情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過物理沖壓(不需要抗蝕劑,也叫納米壓?。﹣矶x圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到另一個層蝕刻,電鍍或剝離。掩模對準光刻機的技術(shù)領(lǐng)域...

  • 2022-11-21

    表面粗糙度怎么檢測,表面粗糙度的檢測,我們常用的有以下幾中方法。1.顯微鏡比較法,Ra0.32;將被測表面與表面粗糙度比較樣塊靠近在一起,用比較顯微鏡觀察兩者被放大的表面,以樣塊工作面上的粗糙度為標(biāo)準,觀察比較被測表面是否達到相應(yīng)樣塊的表面粗糙度;從而判定被測表面粗糙度是否符合規(guī)定。此方法不能測出粗糙度參數(shù)值。2.光切顯微鏡測量法,Rz:0.8~100;光切顯微鏡(雙管顯微鏡)是利用光切原理測量表面粗糙度的方法。從目鏡觀察表面粗糙度輪廓圖像,用測微裝置測量Rz值和Ry值。也可...

  • 2022-11-17

    掩模對準光刻系統(tǒng)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機,電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個信息社會,各種各樣的信息流在世界流動。而光刻系統(tǒng)是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。光刻系統(tǒng)的技術(shù)原理:掩模對準光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機...

  • 2022-11-14

    在過去的40年,我們發(fā)展成為隔振臺的供應(yīng)商,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時,測量技術(shù)有了很大的進步,一些靈敏的設(shè)備會受被動式隔振臺中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振臺能消除此類干擾。因此,我們在被動式隔振臺產(chǎn)品之外,補充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進主動式隔振臺。隔振臺的描述:調(diào)整腳,焊接鋼框架。1、薄膜空氣彈簧BiAi產(chǎn)處于框架和需要隔振的平臺之間(垂直固有頻率2.3Hz)2、機械氣動定位控制(精度土1/lOOmm或土1/lOmm)特點:1、固有振...

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