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慧眼如炬:國產(chǎn)晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)如何守住芯片制造的“第一道防線”?
2026-03-19

在一片直徑僅數(shù)厘米的晶圓上,往往密布著成百上千顆決定電子設(shè)備“大腦”性能的芯片。然而,從熔化的多晶硅到最終切割成型的晶圓薄片,其表面任何一處微米級的崩邊、一道細(xì)微的劃痕,或是一個(gè)肉眼難辨的顆粒污染,都足以讓這顆未來的“大腦”在復(fù)雜的運(yùn)算中瞬...

  • 2021-12-22

    隨著納米技術(shù)的進(jìn)步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽能電池,CVD,PVD,DLC,MEMS等),納米力學(xué)測試已成為標(biāo)準(zhǔn)方法。這種方法改進(jìn)了傳統(tǒng)硬度測試的不足,通過J尖的壓劃頭,高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù),可以較精確測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測試。納米壓痕-單一/多次壓痕,根據(jù)ISO14577測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度,楊氏模量,拉伸和vonMises應(yīng)力,接觸剛度等。納米劃痕-采用恒定、漸進(jìn)和用戶自定義可編程加載方式,評價(jià)薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕...

  • 2021-12-20

    白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。原理:它是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得...

  • 2021-12-15

    隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng),可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界先進(jìn)的主動(dòng)隔振性能。本產(chǎn)品通過消除影響測量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì),無需為大多數(shù)儀器安裝所需的升降設(shè)備,從而簡化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM,干擾儀防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統(tǒng)防震臺,時(shí)頻系統(tǒng)防震臺,大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺,激光設(shè)備主動(dòng)防震!工作原理:安裝有測量和制...

  • 2021-12-13

    近年來,隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展,白光干涉儀在市場上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn),受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微納材料及制造、航空航天等,下面我們就來具體的了解一下這款儀器!白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成...

  • 2021-12-02

    什么是隔振?對于來自于構(gòu)造物內(nèi)部或外部的給構(gòu)造物帶來影響的振動(dòng)施以控制力,以減輕振動(dòng),這就是隔振。隨著工業(yè)的快速發(fā)展,為了去除給測量裝備帶來影響的振動(dòng),人們開發(fā)了隔振臺。而給隔振臺的隔振效果帶來影響的有兩個(gè)因素,分別是振動(dòng)絕緣體的固有振動(dòng)頻率(NaturalFrequency)和阻尼(Damping)。固有振動(dòng)頻率是指某種物體共振的頻率,阻尼則是指在振動(dòng)運(yùn)動(dòng)計(jì)中消除能量,以減輕振動(dòng)的特點(diǎn)。隔振臺就是用來隔絕外界和儀器之間的震動(dòng)傳遞,主要是看幾個(gè)方面的參數(shù):隔振頻率,隔振方式(...

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