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慧眼如炬:國產(chǎn)晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)如何守住芯片制造的“第一道防線”?
2026-03-19

在一片直徑僅數(shù)厘米的晶圓上,往往密布著成百上千顆決定電子設(shè)備“大腦”性能的芯片。然而,從熔化的多晶硅到最終切割成型的晶圓薄片,其表面任何一處微米級的崩邊、一道細(xì)微的劃痕,或是一個肉眼難辨的顆粒污染,都足以讓這顆未來的“大腦”在復(fù)雜的運(yùn)算中瞬...

  • 2021-07-21

    納米壓印機(jī)具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準(zhǔn)系統(tǒng),支持尺寸從碎片到最大150毫米。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對準(zhǔn)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻。納米壓印機(jī)提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間僅為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到專家級別的所有需求,因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。對于壓印工藝,本產(chǎn)品允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑1...

  • 2021-06-22

    紅外激光測厚儀一般是由兩個激光位移傳感器上下對射的方式組成的,上下的兩個傳感器分別測量被測體上表面的位置和下表面的位置,通過計算得到被測體的厚度。本產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測量,相對接觸式測厚儀更精準(zhǔn),不會因?yàn)槟p而損失精度。相對超聲波測厚儀精度更高。相對X射線測厚儀沒有輻射污染。測厚原理:兩個激光位移傳感器的激光對射,被測體放置在對射區(qū)域內(nèi),根據(jù)測量被測體上表面和下表面的距離,計算出被測體的厚度。紅外激光測厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號處理機(jī)...

  • 2021-05-26

    主動減震臺是一款輕量的落地式隔振系統(tǒng),輕量化的架構(gòu)設(shè)計使得安裝和移動十分便捷。采用進(jìn)口非壓電式專用技術(shù),無限制反饋傳感器結(jié)合鋼制彈簧和氣囊高度耦合的被動基礎(chǔ)帶來0.5-100赫茲的超寬隔振頻域,可應(yīng)對高加速度下的振動沖擊。主動減震臺是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動,以提高精密設(shè)備的性能,具有較好的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為0.5Hz-200Hz,被動隔振頻率200Hz,其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備...

  • 2021-05-21

    折射率測量儀是一種折射光學(xué)儀器,他用來測量物質(zhì)在水中的濃度他利用光在水中折射的原理來完成測量。它的使用十分簡單:取一滴樣品滴到棱鏡中,并讀取數(shù)值就可以了。具有可調(diào)焦點(diǎn),直接讀取數(shù)字。我司折射率測量儀有糖度計、鹽度計、蜂蜜濃度計、乳化液濃度計、切削液濃度計、冰點(diǎn)儀、甲醇冰點(diǎn)儀,礦山乳化液濃度計、酒精濃度計、果酒濃度計、豆?jié){濃度計、牛奶濃度計、蓄電池比重計、電解液比重計、尿比重計等系列產(chǎn)品,可以測量所有溶液濃度,例如:果汁、飲料、紅酒、果醬、蜂蜜、牛奶、鹽度、鹽水、罐裝食物、清洗...

  • 2021-04-27

    翹曲度測量儀是一種專用于檢測移動設(shè)備玻璃蓋板、平板電腦玻璃蓋板翹曲度的高精度自動測量設(shè)備,是按照公司對玻璃翹曲度的檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計,具有操作簡單、算法*、測試效率高的特點(diǎn)。嚴(yán)格地說,每一片玻璃蓋板不可能*是一個平面,所以它的翹曲程度必定會影響后續(xù)與觸摸面板的貼合。目前常用檢測翹曲的儀器是塞尺,是一種基于大理石平臺的人工接觸式檢測裝置,檢測效率低,容易對玻璃表面造成劃傷,且人工檢測的結(jié)果不穩(wěn)定。而我司的翹曲度測試儀是基于*算法設(shè)計的,能最準(zhǔn)確反映玻璃的翹曲程度。該儀器采用激光非...

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