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慧眼如炬:國(guó)產(chǎn)晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)如何守住芯片制造的“第一道防線”?
2026-03-19

在一片直徑僅數(shù)厘米的晶圓上,往往密布著成百上千顆決定電子設(shè)備“大腦”性能的芯片。然而,從熔化的多晶硅到最終切割成型的晶圓薄片,其表面任何一處微米級(jí)的崩邊、一道細(xì)微的劃痕,或是一個(gè)肉眼難辨的顆粒污染,都足以讓這顆未來(lái)的“大腦”在復(fù)雜的運(yùn)算中瞬...

  • 2022-04-26

    翹曲度測(cè)量?jī)x適用于手機(jī)玻璃、手機(jī)外殼、汽車玻璃、PAD平板玻璃、鋁板、PCB板及各類平面類零件的平面度、平整度、翹曲度的快速測(cè)量。適用于鍍膜的玻璃和非鍍膜的玻璃測(cè)量;適合光伏玻璃和玻璃襯底的彎曲度、翹曲度、表面形貌和鍍膜測(cè)量。翹曲度測(cè)量?jī)x的作用:本產(chǎn)品適用于普通測(cè)量工具無(wú)法測(cè)量的領(lǐng)埔,如尺寸微小的鐘表、彈簧、橡膠、礦石珠寶、半導(dǎo)體、五金、模具、電子行業(yè)、精細(xì)加工、不規(guī)則工件等到進(jìn)行測(cè)量。還可以繪制簡(jiǎn)單的圖形,繪制測(cè)量畸形、復(fù)雜和零件重疊等不規(guī)則的工件,檢查零件的表面糙度和檢查...

  • 2022-04-18

    紅外激光測(cè)厚儀是用于板材生產(chǎn)線在線連續(xù)測(cè)量板材厚度的非接觸式測(cè)量設(shè)備,它克服了常規(guī)測(cè)量控制方式的缺陷,具有測(cè)量準(zhǔn)確、實(shí)用性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可有效地改善測(cè)控環(huán)境。提高生產(chǎn)效率、提高成材率和產(chǎn)品質(zhì)。紅外激光測(cè)厚儀的安全操作規(guī)程:1、開(kāi)機(jī):開(kāi)機(jī)順序:控制柜后面板“電源開(kāi)關(guān)”→前面板“工作開(kāi)”→工控機(jī)。2、打開(kāi)測(cè)量軟件:雙擊工控機(jī)桌面上的快捷方式圖標(biāo),打開(kāi)測(cè)量軟件。3、設(shè)定或選取產(chǎn)品參數(shù):根據(jù)產(chǎn)品規(guī)格選擇或添加產(chǎn)品型號(hào)和參數(shù)。4、調(diào)整測(cè)量點(diǎn)位置:根據(jù)被測(cè)板材的規(guī)格和測(cè)量位置要求,調(diào)整測(cè)量點(diǎn)...

  • 2022-04-13

    白光干涉儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè),模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。白光干涉儀的測(cè)量應(yīng)用:以測(cè)量單刻線臺(tái)階為倒,在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對(duì)應(yīng)插孔后,開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān),啟動(dòng)計(jì)算機(jī),將單刻線臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置,先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置,對(duì)準(zhǔn)白光干...

  • 2022-04-07

    晶圓缺陷檢測(cè)對(duì)于半導(dǎo)體晶圓的制造至關(guān)重要,但依賴手動(dòng)檢測(cè)既費(fèi)時(shí)又昂貴,并且可能導(dǎo)致良率下降。對(duì)此問(wèn)題的強(qiáng)大自動(dòng)化解決方案至關(guān)重要,因?yàn)閷H向用戶顯示可疑區(qū)域,從而節(jié)省寶貴的時(shí)間。缺陷檢測(cè)設(shè)備具有挑戰(zhàn)性,因?yàn)榭赡艿娜毕輿](méi)有精確的特征,它們可能包括顆粒、開(kāi)路、線間短路或其他問(wèn)題。缺陷可能屬于晶片背景或其圖案,并且可能占主導(dǎo)地位或幾乎不明顯。這種多樣性使得基于一些先驗(yàn)特征或檢測(cè)訓(xùn)練數(shù)據(jù)庫(kù)執(zhí)行模板匹配變得非常困難,因此鼓勵(lì)開(kāi)發(fā)無(wú)監(jiān)督的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)方法。檢測(cè)原理:晶圓缺陷檢測(cè)采用工業(yè)相機(jī)將...

  • 2022-03-28

    三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。本產(chǎn)品適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷...

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